SiN은 에치가 안되고 산화막(SiO2)는 에치 시 킬 수 있는 etchant가스에는 무엇이 있을까요?
보통 산화막 etch할 때 실리콘 나이트라이드로 stop layer로 사용하는것으로 알고 있어 여쭤봅니다ㅠ