UTB MOSFET에 관해 질문이 있습니다
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나는간다 작성일2017-05-31 21:00관련링크
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UTB MOSFET구조에서 Body의 두께가 얇아 질수록 소스와 드레인 사이의 저항이 커지는 이유를 알고싶습시다
또한 이를 해결 하기 위해epitaxial deposion을 이용하여 raised source drain을 만들어 저항을 줄인다고 하는데 여기서 epitaxial deposition이 먼지 그리고 저항이 줄어드는 이유를 알고싶습니다
또한 이를 해결 하기 위해epitaxial deposion을 이용하여 raised source drain을 만들어 저항을 줄인다고 하는데 여기서 epitaxial deposition이 먼지 그리고 저항이 줄어드는 이유를 알고싶습니다
댓글 1
돌아온백수님의 댓글
돌아온백수
FINFET 시대에 UTB 얘기를 하시다니....
Epi layer 는 implant 가 아닌, 증착 방식으로 도핑을 할 수 있다는 얘기입니다.
