반도체 리소그래피 장비들의 위치 제어에는 모두 압전소자가 상용됩니다. 캐패시터나, 레이져로 위치를 센싱하고 압전소자로 움직입니다. 물론 긴거리를 움직일때는 관성이 작은 모터를 씁니다. 그런데, 압전소자로 움직일 수 있는 최대거리가 얼마되지 않아서, 유압실린더는 여전히 제구실을 하리라 봅니다.

  압전소자의 약점이 바로 스트로크(변위)가 짧다는 것에 있는데, 이것을 늘리기 위해서 어떤 방법들이 개발되었는지 알고 싶네요. 예를 들면 압전소자를 지그재그로 연결해서 변위길이를 늘렸다는 등의.. 부탁합니다.

  압전소자들은 비싸서, 그렇게 만들어 쓸 필요가 없을 것으로 봅니다. 요즘 잘나가는 Scanning Probe Microscope 들의 팁을 움직이는 부분들이 압전소자입니다. 압전소자는 정밀한 변위가 장점인데, 여러개를 뭉쳐서 정확도가 떨어진다면 아니한만 못하죠. 지그재그든 어떤 것이든, 가해준 전압에 비례해서 길이가 늘어나는데, 모든 전원은 노이즈를 포함하고 있죠. 직렬 압전소자를 연결한다는 것은 노이즈를 더해나가는 것으로 봐야합니다. 하나만 사용할 때에 비해 정확도를 같거나 더 좋게 만들기는 어렵습니다. 요즘 서보 모터의 정밀도가 워낙 좋으니 더욱 그럴 필요가 없지요.