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반도체 소자(DRAM, NAND Flash) 워드라인과 비트라인에 사용되는 물질

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회사공돌이 작성일2021-06-16 14:41

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안녕하세요. 반도체 소자에 대해 공부하던중 워드라인과 비트라인에 사용되는 물질에 대해서 궁금해져서 질문남깁니다..
분명히 여기서도 RC 딜레이를 줄이고자 low k를 사용할거 같은데...정확한 물질을 알고 계신분있으시면 답변 부탁드립니다..

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