ohmic contact 관련 질문..
- 글쓴이
- 그렇저렇
- 등록일
- 2005-12-30 22:16
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ohmic contact에 대해 좀 구체적으로 나와있는 서적이 혹시 있나요?
streetman 책 같은 데는 아주 간단히만 나와있는데요..
metal 을 딸랑 Au만 증착하는 것이 아니라, 뭐 이것저것 올리는데, 각 metal 들이 어떤 역할을 하는지도 좀 구체적으로 알고 싶은데요..
솔직히 논문같은거 검색해봐도,, 뜬구름 잡는 식인 것 같아서요..
서적이 없다면 논문중에서 좀 구체적이고 알기 쉽게 설명되어 있는 것이 있다면 소개좀 부탁드리겠습니다.
참고로 compound semiconductor관련 쪽이면 더 좋습니다.
streetman 책 같은 데는 아주 간단히만 나와있는데요..
metal 을 딸랑 Au만 증착하는 것이 아니라, 뭐 이것저것 올리는데, 각 metal 들이 어떤 역할을 하는지도 좀 구체적으로 알고 싶은데요..
솔직히 논문같은거 검색해봐도,, 뜬구름 잡는 식인 것 같아서요..
서적이 없다면 논문중에서 좀 구체적이고 알기 쉽게 설명되어 있는 것이 있다면 소개좀 부탁드리겠습니다.
참고로 compound semiconductor관련 쪽이면 더 좋습니다.
다른 사람들 의견
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호순양
()
반도체 공정중 metalization ? 에 관한 책을 보면 되지 않을까요 ?
아마 맨 처음 실리콘이랑 닿는 금속은 ohmic contact를 형성하면서
실리콘 속으로 금속 입자가 퍼지는 걸 막는 역할을 할 것입니다.
보호막 처럼요....
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그렇저렇
()
딸랑 metalization이라고 해서 책이 나와 있나요?
그리고 공정 책들에도 좀 얇게 나와 있는 것 같아서요.. -
무소유
()
오믹접합 기술등은 논문에 중심적인 내용이 될 수 없는내용이라 봅니다. 꽤 오래전 논문이 아닌 이상에요... 쇼트키 금속-반도체접합 관련 내용을 읽어보면 오믹접합형성 필요성관련해서 일부 내용이 나오는데요, 사실 내용이 어느 반도체공정책을 봐도 일부분인듯 합니다.
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양반김
()
화합물 반도체 쪽이면, GaAs나 InP 쪽은 각 물질의 material processing관련 도서를 참고하시면 되고, GaN 쪽은 아직 연구가 진행중이므로 관련도서도 있겠지만, 최근의 논문을 검색하시는 것이 좋습니다.
