BOE 용액 사용관련 질문입니다..
- 글쓴이
- 들소
- 등록일
- 2015-01-29 17:04
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소자제작중 BOE용액을 이용하여 Al2O3를 에칭하려합니다.
공정중 하나 궁금한것이 생긴게
BOE에 OXIDE물질만이 에칭되는지 궁금합니다..
AL2O3나 SIO2 혹은 ITO 같은..
Cr,Al,Ag과 같은 산화되지 않은 물질이나 기타 유기물(남은PR이나 기판상에 남아있을수 있는..)는 에칭되지않는지가 궁금하여 혹시 아시는분이 계시다면 도움을 얻고자 글을 올립니다..
공정중 하나 궁금한것이 생긴게
BOE에 OXIDE물질만이 에칭되는지 궁금합니다..
AL2O3나 SIO2 혹은 ITO 같은..
Cr,Al,Ag과 같은 산화되지 않은 물질이나 기타 유기물(남은PR이나 기판상에 남아있을수 있는..)는 에칭되지않는지가 궁금하여 혹시 아시는분이 계시다면 도움을 얻고자 글을 올립니다..
