도핑래밸??이 정확이 무엇인가요

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COORDINATION
등록일
2016-06-30 11:54
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doped ZnO 에 관한 논문을 읽으면
도핑래밸이라고 나오는데 정확이 무었을 말하는건가요?
XPS 정량분석을 통한 전체분의 도핑된 원소의 분율을 말하는건가요? 그런경우 doping fraction이라는 말을 따로 쓰는것 같아서 아닌것 같고 도핑 에피션시라는 효율을 뜻하는 말이 따로있어서 그것또한 아닌것 같습니다. 가르침 부탁드립니다

  • 돌아온백수 ()

    대부분의 용어들이 실리콘 기술에서 사용하던 것이라, 혼란과 막연함이 끼이게 됩니다.

    실리콘의 도핑은 불순물의 손실이 거의 없이 실리콘 격자를 치환하게 되어서 주입한 불순물 농도가 도핑 레벨이 됩니다. 그런데, 주입한 농도와 실제 도핑으로 역할을 하는 원자의 숫자가 다를 수도 있죠. 이때 도핑에 기여하지 못하는 불순물은 그레인 바운더리에 모여 있는 경우가 많아요. 이럴때는 도핑레벨을 정의하기가 애매해지죠.

    정밀하게는 도핑에 기여하는 숫자만을 세어야 할텐데, 그레인 바운더리에 있는 불순물도 전기적인 특성을 가지는 경우도 있고요. 그래서, XPS를 통해서 실제 공유결합이 되어있는지 까지 따지게 되는 겁니다.

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