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etch에 대해서 질문 있습니다!!!

글쓴이
공돌이키
등록일
2016-08-07 22:59
조회
3,826회
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SiN은 에치가 안되고 산화막(SiO2)는 에치 시 킬 수 있는 etchant가스에는 무엇이 있을까요?
보통 산화막 etch할 때 실리콘 나이트라이드로 stop layer로 사용하는것으로 알고 있어 여쭤봅니다ㅠ

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