구리는 왜 식각이 안되나요?

글쓴이
화공학도
등록일
2016-11-17 11:55
조회
4,382회
추천
0건
댓글
3건
반도체 공정에 대해 관심이 생겨서 공부하는데

다마신 공정 부분에서 Cu는 식각이 안되기에 다마신 공정을 이용한다고 되어있네요.


무슨 이유 때문에 식각이 안되는걸까요?


아무리 머리를 굴려봐도 느낌표 뜰만한 이유가 나오지 않네요...

  • 호야당 ()

    패턴 형성을 위해서는 Cu를 선택적으로 식각을 하여야 하는데, 그러기 위해서는
    Cu(s) + A(g) -> B(g) + C(g) 와 같은 메커니즘이 이루어져야 합니다.
    즉, Solid인 Cu와 Gas인 A물질이 만나서 Gas와 Gas를 만들어서 날려버림으로써 식각이 이루어 지는 것인데요.
    하지만 이러한 반응 메커니즘을 가지는 물질이 존재하지 않거나 혹은 아직까지 발견이 되지 않았기 때문에, Cu는 식각이 불가능하다고 얘기 하는 겁니다.
    (정확히 말하자면, Cu를 선택적으로 식각이 불가능 한 것입니다. 스퍼터링 에칭과 같은 물리적인 식각방법으로는 식각이 가능하지만 패턴 형성에는 의미가 없는 것이죠)

  • 댓글의 댓글 화공학도 ()

    답변 감사합니다!

  • 돌아온백수 ()

    구리가 식각이 되죠. 선택적 식각이 되니까, PCB 같은 제품이 나오죠.

    그런데, 알루미늄에서 구리로 바뀌어야 되는 이유가 있고, 그리고 그 필요조건을 충족시키면서, 생산성을 확보하는 최선의 방법이 다마신 공정이겠죠.

목록


과학기술Q&A

게시판 리스트
번호 제목 글쓴이 등록일 조회 추천
4197 이상기체방정식으로부터 식 유도.. 새글 빡대가리 04-20 127 0
4196 Na^-와 e^+ 어디에 쓰이나요?? 김빡구 04-14 334 0
4195 필로티구조에서 지진에 의한 하중에는 어떤것들이 있을까요? 댓글 1 IWWTTRY 04-07 200 0
4194 음성인식은 한국어랑 영어랑 댓글 1 캠뉴튼 03-31 516 0
4193 반도체 물질의 유전율에 관하여 댓글 3 타라쥬 03-29 474 0
4192 눈먼 과학 참나리 03-29 284 0
4191 지리학 고견을 듣고 싶습니다 참나리 03-12 466 0
4190 CFD MATLAB 어느 것을 배우는게 좋을까요? 댓글 6 jucto 03-01 832 0
4189 파괴 시뮬레이션 툴 질문드립니다 댓글 2 배우는공돌이 03-01 429 0
4188 전자과분들중에 혹시 외장하드에 툴 깔으셔서 사용해보신분 계시나요? 경연일기 02-10 514 0
4187 진공상태에서 질소가소가 얼마나 투입되는지 알고싶어요(기본적 질문 ㅜ) 댓글 1 어렵다어려워11 02-07 591 0
4186 이 소자 데이터 시트나 파트넘버 아시는분 계신가요 댓글 1 SMPS 01-26 549 0
4185 반도체 관련 질문입니다~! Goldboy 01-25 524 0
4184 전기자동차 냉난방시스템 일제공돌짱 01-18 569 0
4183 유한요소, 수치해석 책 추천 부탁드려요! 댓글 1 슈프림치킨 01-14 729 0
4182 colloid를 solution 으로 녹일 수 있을까요? 댓글 2 고민이많구만 01-09 629 0
4181 안녕하세요 열역학 질문입니다. IamI 01-07 622 0
4180 윈도우용 명령 터미널 추천 좀 부탁 드립니다. 댓글 1 개발원 12-30 689 0
4179 안녕하세요~[물리광학]다중슬릿 질문입니다. 댓글 5 유랑소년 12-27 860 0
4178 매트랩을 이용해 2D Cavity Flow를 만들어보고 싶은데 교재추천 부탁드립니다~!(CFD) 연구자67 12-23 850 0


랜덤글로 점프
과학기술인이 한국의 미래를 만듭니다.
© 2002 - 2015 scieng.net
모바일 버전으로 보기