구리는 왜 식각이 안되나요?

글쓴이
화공학도
등록일
2016-11-17 11:55
조회
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반도체 공정에 대해 관심이 생겨서 공부하는데

다마신 공정 부분에서 Cu는 식각이 안되기에 다마신 공정을 이용한다고 되어있네요.


무슨 이유 때문에 식각이 안되는걸까요?


아무리 머리를 굴려봐도 느낌표 뜰만한 이유가 나오지 않네요...

  • 호야당 ()

    패턴 형성을 위해서는 Cu를 선택적으로 식각을 하여야 하는데, 그러기 위해서는
    Cu(s) + A(g) -> B(g) + C(g) 와 같은 메커니즘이 이루어져야 합니다.
    즉, Solid인 Cu와 Gas인 A물질이 만나서 Gas와 Gas를 만들어서 날려버림으로써 식각이 이루어 지는 것인데요.
    하지만 이러한 반응 메커니즘을 가지는 물질이 존재하지 않거나 혹은 아직까지 발견이 되지 않았기 때문에, Cu는 식각이 불가능하다고 얘기 하는 겁니다.
    (정확히 말하자면, Cu를 선택적으로 식각이 불가능 한 것입니다. 스퍼터링 에칭과 같은 물리적인 식각방법으로는 식각이 가능하지만 패턴 형성에는 의미가 없는 것이죠)

  • 댓글의 댓글 화공학도 ()

    답변 감사합니다!

  • 돌아온백수 ()

    구리가 식각이 되죠. 선택적 식각이 되니까, PCB 같은 제품이 나오죠.

    그런데, 알루미늄에서 구리로 바뀌어야 되는 이유가 있고, 그리고 그 필요조건을 충족시키면서, 생산성을 확보하는 최선의 방법이 다마신 공정이겠죠.

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