구리는 왜 식각이 안되나요?

글쓴이
화공학도
등록일
2016-11-17 11:55
조회
1,374회
추천
0건
댓글
3건
반도체 공정에 대해 관심이 생겨서 공부하는데

다마신 공정 부분에서 Cu는 식각이 안되기에 다마신 공정을 이용한다고 되어있네요.


무슨 이유 때문에 식각이 안되는걸까요?


아무리 머리를 굴려봐도 느낌표 뜰만한 이유가 나오지 않네요...

  • 호야당 ()

    패턴 형성을 위해서는 Cu를 선택적으로 식각을 하여야 하는데, 그러기 위해서는
    Cu(s) + A(g) -> B(g) + C(g) 와 같은 메커니즘이 이루어져야 합니다.
    즉, Solid인 Cu와 Gas인 A물질이 만나서 Gas와 Gas를 만들어서 날려버림으로써 식각이 이루어 지는 것인데요.
    하지만 이러한 반응 메커니즘을 가지는 물질이 존재하지 않거나 혹은 아직까지 발견이 되지 않았기 때문에, Cu는 식각이 불가능하다고 얘기 하는 겁니다.
    (정확히 말하자면, Cu를 선택적으로 식각이 불가능 한 것입니다. 스퍼터링 에칭과 같은 물리적인 식각방법으로는 식각이 가능하지만 패턴 형성에는 의미가 없는 것이죠)

  • 댓글의 댓글 화공학도 ()

    답변 감사합니다!

  • 돌아온백수 ()

    구리가 식각이 되죠. 선택적 식각이 되니까, PCB 같은 제품이 나오죠.

    그런데, 알루미늄에서 구리로 바뀌어야 되는 이유가 있고, 그리고 그 필요조건을 충족시키면서, 생산성을 확보하는 최선의 방법이 다마신 공정이겠죠.

목록


과학기술Q&A

게시판 리스트
번호 제목 글쓴이 등록일 조회 추천
4089 Fluent 나 CFX 둘중 어느걸로 회전프로펠러 해석을 해야 할까요 새글 윤준혁 04-22 77 0
4088 PYTHON이나 PHP로 하드웨어를 개발할 수는 없을까요. 댓글 1 gtoair08 04-16 219 0
4087 이미 있는 기술을 혼자 스스로 만들어 보고 다른 여러 기술들을 통합하는 건 의미가 없는 일일까요. 댓글 3 gtoair08 04-16 386 0
4086 세월호 무게추정방법 파도 04-08 212 0
4085 PECVD 관련 문제 고민 상담 댓글 2 세희아빠 04-07 198 0
4084 benz 컨셉카 중에 킵리르브 03-31 171 0
4083 전이금속칼고겐화합물 중 MoS2.. 댓글 3 이런당 03-26 259 0
4082 학술지, 저널, 기사, 논문 관련 국문 사이트 없을까요?ㅠㅠ 댓글 1 취뽀 03-23 458 0
4081 컴퓨터로 역행렬을 구하려고 하는데 행렬의 크기가 너무 큽니다. 댓글 2 돌대가리 03-13 538 0
4080 문돌이가 코딩 배우려면 어느정도 걸릴까요? 댓글 13 Wcgrider 03-05 1295 0
4079 그래프 검색법을 다루는 분야를 뭐라고 부르나요? Tesla 03-01 226 0
4078 온수 순환 난방시스템에 대한 질문 (펌프,압력) BigFatLiar 02-28 250 0
4077 본능이라는 것은 어떻게 발현되는건가요? 울율 02-25 272 0
4076 ALD(atomic layer deposition) 관련 허접하고도 간단한 질문입니다 댓글 4 평등대 02-22 358 0
4075 토목 또는 건축이나 기계재료 관련해서 질문드립니다. 전공자님들 답변 부탁드려요. 댓글 1 횐님덜 02-16 494 0
4074 Dispersion equation 해 찾기 댓글 1 optical 02-03 379 1
4073 전기화학 순환전류전압(cyclic voltammetry)을 convolution integral 하는 방안 댓글 1 Qu 01-24 403 0
4072 화공플랜트에서 용융조 설계관련하여 질문있습니다. 댓글 1 karelin 01-05 508 0
4071 유동하는 유체에의해 기구의 좌표마다 전달되는 힘 구하는 방법.. 댓글 2 연구자67 01-02 498 0
4070 화학반응 UDF코드 관련하여 질문드립니다. 댓글 1 에헤라디요 12-19 523 0


랜덤글로 점프
과학기술인이 한국의 미래를 만듭니다.
© 2002 - 2015 scieng.net
모바일 버전으로 보기