구리는 왜 식각이 안되나요?

글쓴이
화공학도
등록일
2016-11-17 11:55
조회
14,926회
추천
0건
댓글
3건
반도체 공정에 대해 관심이 생겨서 공부하는데

다마신 공정 부분에서 Cu는 식각이 안되기에 다마신 공정을 이용한다고 되어있네요.


무슨 이유 때문에 식각이 안되는걸까요?


아무리 머리를 굴려봐도 느낌표 뜰만한 이유가 나오지 않네요...

  • 호야당 ()

    패턴 형성을 위해서는 Cu를 선택적으로 식각을 하여야 하는데, 그러기 위해서는
    Cu(s) + A(g) -> B(g) + C(g) 와 같은 메커니즘이 이루어져야 합니다.
    즉, Solid인 Cu와 Gas인 A물질이 만나서 Gas와 Gas를 만들어서 날려버림으로써 식각이 이루어 지는 것인데요.
    하지만 이러한 반응 메커니즘을 가지는 물질이 존재하지 않거나 혹은 아직까지 발견이 되지 않았기 때문에, Cu는 식각이 불가능하다고 얘기 하는 겁니다.
    (정확히 말하자면, Cu를 선택적으로 식각이 불가능 한 것입니다. 스퍼터링 에칭과 같은 물리적인 식각방법으로는 식각이 가능하지만 패턴 형성에는 의미가 없는 것이죠)

  • 댓글의 댓글 화공학도 ()

    답변 감사합니다!

  • 돌아온백수 ()

    구리가 식각이 되죠. 선택적 식각이 되니까, PCB 같은 제품이 나오죠.

    그런데, 알루미늄에서 구리로 바뀌어야 되는 이유가 있고, 그리고 그 필요조건을 충족시키면서, 생산성을 확보하는 최선의 방법이 다마신 공정이겠죠.

목록


과학기술Q&A

게시판 리스트
번호 제목 글쓴이 등록일 조회 추천
4144 전기화학(분극) 관련 질문드립니다..^^ 태극기는우리것 09-02 5214 0
4143 베릴로그 간단한 질문입니다 선배님들.. 댓글 2 오아시스 09-02 4319 0
4142 화공출신분들 이 문제 좀 도와주시면 감사하겠습니다. 댓글 1 워너비 09-02 3905 0
4141 물이용에 무계를 합한다면 댓글 1 참나리 08-31 3068 0
4140 답변글 Re: 물이용에 무계를 합한다면 참나리 09-20 2906 0
4139 죄송하시만 혹시 3D 프린팅 정교하게 하는 업체 아시는 분 있을까요 박봉찬 08-30 3013 0
4138 수소차 NVH 질문 댓글 3 고민만하네 08-29 3577 0
4137 태양과 다른 지구 댓글 1 참나리 08-28 3277 0
4136 답변글 Re: 태양과 다른 지구 댓글 1 참나리 08-29 3300 0
4135 주거 급수 설비 댓글 1 참나리 08-26 2886 0
4134 지열 이용 댓글 2 참나리 08-25 3120 0
4133 공간에너지가 실재하나요? 댓글 15 마누형마누라 08-25 6666 0
4132 킬레이트의 반대 개념도 있나요? 고민이많구만 08-23 2927 0
4131 수열합성시 산화물 성장에 대해 궁금합니다. 댓글 1 ImP2K 08-22 3037 0
4130 화공열역학에서 ICDPH(T0,T, ...)나 IDCPS 이런 계산은 좀더 고급계산기로 계산가능한건가요? 워너비 08-22 3739 0
4129 화공열역학 문제 하나 물어볼게 있어서요 ㅠㅠ 도와주시면 감사하겠습니다. 댓글 1 워너비 08-22 3573 0
4128 x축은 stretch y축은 stress 인데... 댓글 2 고민이많구만 08-06 3462 0
4127 반도체 전공 관련 왕초보적인 질문드립니다.! 댓글 4 khw3399 08-06 3976 0
4126 대학 강의시간 변경 가능한가요? 댓글 3 마누형마누라 08-04 5090 0
4125 반도체 아주아주아주 기초적인 질문 있습니다. 댓글 4 bemyself 08-04 5072 0


랜덤글로 점프
과학기술인이 한국의 미래를 만듭니다.
© 2002 - 2015 scieng.net
모바일 버전으로 보기