ALD(atomic layer deposition) 관련 허접하고도 간단한 질문입니다

글쓴이
평등대
등록일
2017-02-22 22:00
조회
762회
추천
0건
댓글
4건
너무 배경지식 없이 물어보는거 같아서 죄송합니다만
보통 ALD로 실리콘위에 알루미나 나 하프니아를 올린다고 알고있습니다.
그런데 제가 현재 만들어볼까 하는 소자는 SiO2 위에 금속 패터닝을 한번하고
그위에 알루미나(나 하프니아)를 올리는 모양새입니다.
공용장치 중에는 ALD가 없어서 다른 연구실의 지인에게 한번 물어봤더니
금속이 패터닝된 상태라면 (금속파티클땜에)장치가 오염될수도 있는
우려가 있어 안될거란 쪽으로 얘기해주었습니다
이렇게 말한 지인도 이해가 가는데(개인의 장치가 아니니 혹시라도 잘못되면 안되니까요)
일반적으로 안되는건지 궁금합니다. 논문중에는 금속을 포함한 여러 재료 위에 ALD로 알루미나를
쌓아본 논문도 있긴하던데(금속위라도 잘 된다는 이야기여서 저로서는 희망을 얻었습니다만)
이런식으로 사용하시는 분 계신가요? 감사합니다.

  • 돌아온백수 ()

    ALD가 고온 공정이 아닌데요. 400도 이하에서 Al2O3 를 증착하는 것으로 아는데.....
    그런데, 시료 표면에 OH 기가 있어야 증착이 됩니다. 아무 금속이나 되지 않겠죠.

  • 댓글의 댓글 평등대 ()

    답변 감사합니다!

  • 처음처럼 ()

    잘됩니다...

  • 댓글의 댓글 평등대 ()

    오오 잘되는군요!

목록


과학기술Q&A

게시판 리스트
번호 제목 글쓴이 등록일 조회 추천
4130 x축은 stretch y축은 stress 인데... 댓글 1 고민이많구만 08-06 182 0
4129 반도체 전공 관련 왕초보적인 질문드립니다.! 댓글 4 khw3399 08-06 403 0
4128 대학 강의시간 변경 가능한가요? 댓글 3 마누형마누라 08-04 252 0
4127 반도체 아주아주아주 기초적인 질문 있습니다. 댓글 3 bemyself 08-04 384 0
4126 킬레이트의 affinity를 알고자하는데... 댓글 2 고민이많구만 07-26 208 0
4125 이 두 개 모노머를 선별해낼 수 있을까요??? 댓글 4 고민이많구만 07-16 367 0
4124 matlab 입문서 추천부탁드립니다 댓글 5 행복좀많이 07-16 578 0
4123 대형 LCD 구동관련 입문자입니다. 조언 좀 부탁드리겠습니다. Shell 07-14 207 0
4122 생각을 읽는 기술 댓글 1 아마추어 07-14 519 0
4121 이산화탄소 흡수 비교실험 댓글 1 결성이 07-13 195 0
4120 배터리 관련한 정보공유 사이트가 없을까요? 댓글 1 고민이많구만 07-11 390 0
4119 사람에 힘에 따라 보조동력을 조절되는 건 어떤식으로 구현할 수 있을까요 댓글 6 yemmi 07-11 351 0
4118 링크 계층 점대점 프로토콜(HDLC, PPP)이 광역 통신망에서 유효하다는데 왜그런가요? 안창호 07-05 287 0
4117 PR(Photo resist) distributor 문의 빵뜨아 07-03 218 0
4116 고체물리 전공서적 하나만 추천해 주시겠습니까? 댓글 3 ABAB123 06-27 541 0
4115 Effective hole mass에서 mh는 전자의 m0와 같습니까? 댓글 1 매직 06-22 290 0
4114 zero field에서 뮤제로값을 알 수 있나요? 댓글 2 세균수 06-20 338 0
4113 깁스 자유에너지 변화에 대해 궁금합니다!! 댓글 1 ㄴㅉㅈ 06-18 442 0
4112 Sclc mobility 관련해서 문제 풀줄 아시는분 있으신가요? 제발 부탁드립니다.. 댓글 2 세균수 06-18 344 0
4111 뉴런의 STDP 에 대해서 한가지 여쭙겠습니다. 댓글 5 ABAB123 06-16 366 0


랜덤글로 점프
과학기술인이 한국의 미래를 만듭니다.
© 2002 - 2015 scieng.net
모바일 버전으로 보기