ALD(atomic layer deposition) 관련 허접하고도 간단한 질문입니다

글쓴이
평등대
등록일
2017-02-22 22:00
조회
615회
추천
0건
댓글
4건
너무 배경지식 없이 물어보는거 같아서 죄송합니다만
보통 ALD로 실리콘위에 알루미나 나 하프니아를 올린다고 알고있습니다.
그런데 제가 현재 만들어볼까 하는 소자는 SiO2 위에 금속 패터닝을 한번하고
그위에 알루미나(나 하프니아)를 올리는 모양새입니다.
공용장치 중에는 ALD가 없어서 다른 연구실의 지인에게 한번 물어봤더니
금속이 패터닝된 상태라면 (금속파티클땜에)장치가 오염될수도 있는
우려가 있어 안될거란 쪽으로 얘기해주었습니다
이렇게 말한 지인도 이해가 가는데(개인의 장치가 아니니 혹시라도 잘못되면 안되니까요)
일반적으로 안되는건지 궁금합니다. 논문중에는 금속을 포함한 여러 재료 위에 ALD로 알루미나를
쌓아본 논문도 있긴하던데(금속위라도 잘 된다는 이야기여서 저로서는 희망을 얻었습니다만)
이런식으로 사용하시는 분 계신가요? 감사합니다.

  • 돌아온백수 ()

    ALD가 고온 공정이 아닌데요. 400도 이하에서 Al2O3 를 증착하는 것으로 아는데.....
    그런데, 시료 표면에 OH 기가 있어야 증착이 됩니다. 아무 금속이나 되지 않겠죠.

  • 댓글의 댓글 평등대 ()

    답변 감사합니다!

  • 처음처럼 ()

    잘됩니다...

  • 댓글의 댓글 평등대 ()

    오오 잘되는군요!

목록


과학기술Q&A

게시판 리스트
번호 제목 글쓴이 등록일 조회 추천
4117 Effective hole mass에서 mh는 전자의 m0와 같습니까? 새글 매직 06-22 70 0
4116 zero field에서 뮤제로값을 알 수 있나요? 댓글 2 세균수 06-20 158 0
4115 깁스 자유에너지 변화에 대해 궁금합니다!! 댓글 1 ㄴㅉㅈ 06-18 189 0
4114 Sclc mobility 관련해서 문제 풀줄 아시는분 있으신가요? 제발 부탁드립니다.. 댓글 2 세균수 06-18 163 0
4113 뉴런의 STDP 에 대해서 한가지 여쭙겠습니다. 댓글 4 ABAB123 06-16 179 0
4112 엔지니어링사 혹은 건설사에서 사용하는 program 질문 BENGE 06-15 178 0
4111 FET관련 질문드립니다! 댓글 5 공돌이 06-06 347 0
4110 (배터리) SEI 와 dendrite 의 차이가 무엇인가요?? 댓글 1 고민이많구만 06-06 191 0
4109 UTB MOSFET에 관해 질문이 있습니다 댓글 1 나는간다 05-31 248 0
4108 SEM 찍었습니다만..Grain이.. 댓글 6 ImP2K 05-31 514 0
4107 wet ehcing 질문입니다. 댓글 5 빵뜨아 05-30 310 0
4106 아날로그 회로 설계 질문입니다. 댓글 2 capstone 05-29 484 0
4105 pcb 구조 공진 질문입니다. 댓글 2 전자공학도 05-27 281 0
4104 Wave optics와 Ray optics를 적용하는 기준 댓글 2 SPR 05-26 274 0
4103 (기초질문) 임피던스 그래프 읽는법 좀 부탁드립니다. 댓글 3 cbman 05-19 879 0
4102 (질문) 실제 산업분야에서 PID 제어기 설계 댓글 2 고구마말랭 05-18 493 0
4101 요즘 수학 핫한 분야 댓글 12 kogikogi 05-17 980 0
4100 자연산화막 만드는 금속에 대해 질문드립니다. 평등대 05-16 240 0
4099 비트코인에 대해서 댓글 3 생케 05-16 596 0
4098 유체 배관 질문드려요 주렁 05-14 255 0


랜덤글로 점프
과학기술인이 한국의 미래를 만듭니다.
© 2002 - 2015 scieng.net
모바일 버전으로 보기