이상기체방정식으로부터 식 유도..
- 글쓴이
- 빡대가리
- 등록일
- 2018-04-20 12:18
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유량(Q)은
Q(sccm) = (V[vessel]T[STP]/P[STP])(△(P/T)/△t)
여기에서, V[vessel]는 용기의 소정 체적이고, T[STP]는 0℃(273.15K)의 표준 온도이고, P[STP]는 1atm(101.325kPa로 정의됨)의 표준 압력이고, △(P/T)/△t는 시간 t=0에서 t=N까지 상기 용기의 소정 체적 내에서의 온도 및 압력 측정에 기초하여 용기 온도로 나눈 용기 압력의 시간 미분
개념은 체적, 온도 동일한 밀폐된 용기에 Q(sccm) Gas 유량이 들어가서 압력이 P1(mtorr) P2(mTorr)로 변할 때 체적(Liter), 온도, P1, P2, 값을 알고 가스가 투입된 시간을 알때 Q(sccm) 값을 계산하는 것입니다.
PV=nRT 라는 이상기체 방정식으로부터
Q(sccm) = (V[vessel]T[STP]/P[STP])(△(P/T)/△t) <- 이 식이 어떻게 유도되는지 식으로 설명 부탁드립니다. 수알못이라 부탁좀 드리겠습니다...
Q(sccm) = (V[vessel]T[STP]/P[STP])(△(P/T)/△t)
여기에서, V[vessel]는 용기의 소정 체적이고, T[STP]는 0℃(273.15K)의 표준 온도이고, P[STP]는 1atm(101.325kPa로 정의됨)의 표준 압력이고, △(P/T)/△t는 시간 t=0에서 t=N까지 상기 용기의 소정 체적 내에서의 온도 및 압력 측정에 기초하여 용기 온도로 나눈 용기 압력의 시간 미분
개념은 체적, 온도 동일한 밀폐된 용기에 Q(sccm) Gas 유량이 들어가서 압력이 P1(mtorr) P2(mTorr)로 변할 때 체적(Liter), 온도, P1, P2, 값을 알고 가스가 투입된 시간을 알때 Q(sccm) 값을 계산하는 것입니다.
PV=nRT 라는 이상기체 방정식으로부터
Q(sccm) = (V[vessel]T[STP]/P[STP])(△(P/T)/△t) <- 이 식이 어떻게 유도되는지 식으로 설명 부탁드립니다. 수알못이라 부탁좀 드리겠습니다...
