MOS transistor의 제작에 있어서 LDD 공정이 도입된 시기가 ...???

글쓴이
하만륜
등록일
2005-03-09 19:07
조회
6,548회
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댓글
1건
MOS transistor의 제작에 있어서 LDD 공정이 도입된 시기가 대충 언제쯤인지 궁금합니다.
80년대초반?\\
80년대 후반?
90년대 초반??
90년대 중반???

  • 돌아온백수 ()

      80년대 후반일거라고 짐작됩니다. 90년대 초에 나온 택스트 북에 소개가 된것을 본적이 있습니다. 제목이  advanced  뭐 였으니까, 아마 80년대 후반에 도입된 것을 그렇게 부르지 않았나 짐작합니다.

    LDD  라는 것이  Hot carrier effect  를 줄일려고 하는 것이니까,  hot carrier  효과가 발견된 연대를 찾아보시면 비슷하게 맞아 들어갈꺼에요.

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