포토리소그래피 패턴할때 에칭공정에 관하여 질문드립니다.
페이지 정보
쉥이 작성일2013-11-21 18:38관련링크
본문
OLED를 만들기 전에 포토리소그래피 공정을 하였는데요. 에칭 공정에서 Etchant용액에 10분, 20분, 30분 담궜을 때 멀티테스터로 측정하여 저항의 비교를 하면 30분일 때 저항은 0이 된다고 합니다. 그런데 10분 일 때보다 20분 일 때가 저항이 크게 된다고 하는데 왜 저항이 0이 되고 20분일 때가 10분일때보다 저항이 크게 되는건지 그 이유를 무엇일까 궁금해서요.
아신다면 답변해주시면 정말 감사하겠습니다.^^
댓글 2
평온한삶님의 댓글
평온한삶
포토리소그래피 공정이라는 것이
에천트로 동박에 회로를 구현하는 공정입니다
에천트에 동이 시간이 지나면 지날수록 많이 녹겠죠?
그러면 전기가 도통되어야 할 동의 두께가 얇아질 것이고
이 도통선이 얇아지면 얇아질수록 저항이 올라가게 됩니다.
일정시간이 지나면 동이 에천트에 다 녹아 버릴테니
당연히 저항이 0이 되는 시점이 동이 다 녹아버리는 시점이 되겠군요
쉥이님의 댓글
쉥이감사합니다~
