HR-XRD 측정 시 cutoff angle이란 무엇인가요?
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superlattice 작성일2014-01-02 14:39관련링크
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안녕하세요
xpert epitaxy란 프로그램으로 AlN 시뮬레이션 하는 도중 궁금한 것이 있어 글 올립니다.
AlGaN 의 (102) 방향으로 2 peak points의 조성비를 알기 위해
template의 AlN의 cutoff angle 값을 넣어야 하는 상황입니다.
AlN 의 cutoff angle 값을 어디서 알 수 있을까요?
xpert epitaxy란 프로그램으로 AlN 시뮬레이션 하는 도중 궁금한 것이 있어 글 올립니다.
AlGaN 의 (102) 방향으로 2 peak points의 조성비를 알기 위해
template의 AlN의 cutoff angle 값을 넣어야 하는 상황입니다.
AlN 의 cutoff angle 값을 어디서 알 수 있을까요?
댓글 1
안두인님의 댓글
안두인
일반적으로 기판을 제작할 때 cutoff angle이라고 하여 약간 비스듬하게 자릅니다.
그 각도를 cutoff angle이라고 하는데 AlN 기판을 사용하셨으면 기판의 제작사에 요청하세요.
