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quadrupole mass spectrometer를 제작하려 합니다.

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Kittel 작성일2014-10-10 17:54

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안녕하십니까 선배님들 물리학과 학부생입니다.

챔버안의 상황을 관측하기 위해 QMS를 약간 개조 하려 하는데요.


Plasma에서 부터 QMF 안쪽으로 ION을 추출하고 주입하는 부분의 구조를 찾아보니

Extraction-Baseplate-Focus-Injection aperture

이런식으로 되어있더라구요.


Extraction,Injection aperture 는 Ion을 추출하고 주입하는 역할을 하고, Focus는 진행하는 ion의 초점을 맞춰준다는 의미 인것같은데요 baseplate는 어떤 역할을 하는지 모르겠습니다. 혹시나 가속시켜주는 역할일까요..아니라면 어떤역할일까요?

또한 이 부분을 직접 제작해 보려 하는데, 설계함에 있어서 이론값을 내기위해 수식적으로 어떻게 접근해야할지 모르겠습니다.

참고할수 있는 논문이나 서적이 있다면 추천해주세요ㅠ


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