얼핏 봤는데 꽤나 세밀하군요. 마치 찍찍이(magic tape)의 고리부분 정도 되는 크기인데요 그걸 실리콘으로 만드네염.. 이걸 실험을 위해 소량을 만드는 건 상당히 어려운 일이 될듯...

  정말 velcro 갈고리처럼 생겼네요... 굵기가 20 micro meter 이상이어도 된다면 기존의 가는 vlecro나 그 유사한 것을 적당한 합성수지 매몰한 후 velcro 재질을 녹이는 유기용매로 녹여낸 후 실리콘을 그 구멍으로 주입하는 겁니다... 잘 될지는 모르겠지만요...^^

  실리콘의 주입이 가능한가요?

  실리콘의 종류는 무지하게 다양한 걸로 알고 있습니다. 액상에 가까운 것도 있고... vacuum pump와 용매를 사용하면 될듯 싶기도 하네요... 생물학 시료에 실리콘을 주입하는 기술은 예전에 개발되어 있거든요... 세포 속으로 실리콘을...

  궁금이님이 말씀하시는 것은 Silicon 이 아니고 Silicone 인 것 같네요. siilcone 은 보통 sio2 알갱이와 pdms(polydimethyl siloxane)이 섞인 것을 말합니다. 금속이 아니죠. Si 주입(infiltration)은 CVD 로 하면 됩니다.

  SiO2  로  구조를 만든다음, 폴리 실리콘으로 덮어서 패턴닝 하고, 바닥의 산화막을 나중에 에칭해 내면 됩니다.

  음..큰 실험의 소요 도구인것 같은데 그거 만드는게 더 큰일이 될 것 같기도.....~~;

  silicon mems에 도움이 될만한 책은 S.M. Sze의 Semiconductor Sensor 라는 책이 있을수 있고, 많은 책들과 논문이 있습니다. 개인적으로는 포닥님이 말씀하신 방법이 적당해 보이며, 이런 비슷한 방법으로 AFM tip도 만들고 하여간 앞으로 분야가 다양해지리라고 믿고 있습니다. 그런데 mems도 열풍이 불기는 하지만 범용으로 쓰이는 것은 아직 주로 자동차에 들어가는 pressure sensor나 accelerometer입니다. 그런데 우연히 GM 연구원에게 물어본 결과 센서 개당 가격이 20불 이하라고 합니다. 비교하기 힘들지만, 펜티엄 칩이 수백불하는 것을 생각해보면, MEMS도 새로운 시장을 만들기 전에는 꽃(?)을 피우기는 아직 힘든 것 같습니다.

  과학기술자들이 뭔가를 만드려고 열심히 하는 수 밖에 없습니다. 꽃을 피우려면...

  포닥님의 언제나 친절한 답변에 감사드립니다. 그런데 포닥님께 질문이 있습니다, 산화실리콘으로 구조를 만든다고 하셨는데, 잘 감이 오지 않습니다. 어떻게 산화실리콘으로 아치형의 구조를 만드는지 자세히 설명 부탁드립니다.

  재질이 실리콘이 아니어도 된다면, 에어 브리지를 만드는 공정을 사용해서, 폴리머와 금속만으로 아치를 만들 수 있습니다. 이 방법이 가장 간단하죠. 산화막으로 아치형태를 만드는 방법은 에어브리지를 만드는 방법을 응용하시면 되죠.

  에어 브리지란 PCB 에 점퍼선을 남땜하는 것과 같이 웨이퍼상에 점퍼를 만드는 공정입니다. 감광재료를 패터닝한다음, 얇은 금속 막으로 도금할 수 있게 만든 다음에, 전기도금으로 금속을 형성시키고나서, 유기용재로 감광재를 녹여내는 것입니다.