다른 사람들 의견

• TMA (02-08-10 18:46)

    제일 처음 그림은 TMA의 광학계를 설명하는 그림이고, 두번째는 단면구조를 그리고 세번째는 위에서 바라본 그림입니다. TMA 는 기본적으로 아날로그 동작을 하면 구동전압에 따라서 리니어하게 틸팅하여 광원을 반사시키게 됩니다. RGB 세판으로 구성이 되며 여기서 미러를 전기적 신호가 인가되는 지지부를 남기고 허공에 띄워놓는 것이 핵심 FAB기술입니다. 두번째 그림이 그것을 설명하고 있는 것이구요, 세번째 그림은 4인치 Si웨이퍼에 1024*768 의 약 80만개 셀을 만들어 냈다는 것을 설명하려는 것입니다.

  제일 처음 그림은 TMA의 광학계를 설명하는 그림이고, 두번째는 단면구조를 그리고 세번째는 위에서 바라본 그림입니다. TMA 는 기본적으로 아날로그 동작을 하면 구동전압에 따라서 리니어하게 틸팅하여 광원을 반사시키게 됩니다. RGB 세판으로 구성이 되며 여기서 미러를 전기적 신호가 인가되는 지지부를 남기고 허공에 띄워놓는 것이 핵심 FAB기술입니다. 두번째 그림이 그것을 설명하고 있는 것이구요, 세번째 그림은 4인치 Si웨이퍼에 1024*768 의 약 80만개 셀을 만들어 냈다는 것을 설명하려는 것입니다.
• TMA (02-08-10 18:48)

    참 액추에이터로 쓰이는 압전소자 PZT 를 얼마자 잘 control 하느냐가 전압에 따라 선형적으로 틸팅하는 미러를 만드는 핵심기술입니다만 이거 특성잡는데만 한 5년 걸렸죠... PZT FAB 에 관한한 정말 많은 노하우를 축적했던 것으로 기억합니다. 이젠 별로 소용없는 이야기지만요....^^

  참 액추에이터로 쓰이는 압전소자 PZT 를 얼마자 잘 control 하느냐가 전압에 따라 선형적으로 틸팅하는 미러를 만드는 핵심기술입니다만 이거 특성잡는데만 한 5년 걸렸죠... PZT FAB 에 관한한 정말 많은 노하우를 축적했던 것으로 기억합니다. 이젠 별로 소용없는 이야기지만요....^^