[급] TLM 저항 측정 관련 질문 올림
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KIKO 작성일2013-05-21 15:16관련링크
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안녕하세요. TLM 저항 측정 중 궁금한 점이 생겨서 전문가 분들에게
도움을 받고자 글을 올려봅니다.
TLM으로 접촉저항을 구하였을 경우
y절편이 마이너스 값이 나오면서
접촉저항, 비저항 값도 마이너스 값으로 측정이 되는데..
이와 같이 마이너스가 나오는 경우를 어떻게 해석해야 하는지 궁금합니다.
보통 문헌에서는 마이너스 값의 경우 아주 작은 값이라고만 기술을 하고 있습니다.
TLM 패턴은 litho를 사용하였으며
d-spacing 오차는 없음을 확인하였습니다.
혹시 관련 경험이나 지식이 있으신 분들께 간곡히 코멘트 부탁 드리겠습니다.
감사합니다.
도움을 받고자 글을 올려봅니다.
TLM으로 접촉저항을 구하였을 경우
y절편이 마이너스 값이 나오면서
접촉저항, 비저항 값도 마이너스 값으로 측정이 되는데..
이와 같이 마이너스가 나오는 경우를 어떻게 해석해야 하는지 궁금합니다.
보통 문헌에서는 마이너스 값의 경우 아주 작은 값이라고만 기술을 하고 있습니다.
TLM 패턴은 litho를 사용하였으며
d-spacing 오차는 없음을 확인하였습니다.
혹시 관련 경험이나 지식이 있으신 분들께 간곡히 코멘트 부탁 드리겠습니다.
감사합니다.
댓글 1
Lee님의 댓글
Lee
- metal or metal/pad contact resistance
- parasitic resistance between contact and probe
