안녕하세요 diffusion pump 사용하는데...
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- 등록일
- 2013-05-22 16:56
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고진공을 잡기 위해서
diffusion pump를 사용하고 있는데요
3시간 동안 진공을 뽑아냄에도 불구하고
-4승 torr 까지밖에 안 떨어지네요..........
진공도가 안 잡히면
이빔증착하는데에 무리가 있어
실험을 못하고 있습니다 ....
어떻게 해야 할까요 ㅜ ㅜ
다른 사람들 의견
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avaritia
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에.. 원래 일상적으로 쓰시던 시스템인가요 지금 처음 뽑아보시는건가요?
diffusion pump면 -4승부터 한창 잘 뽑힐 레인지인데... leak이 있거나 챔버안에 gas source가 있거나 할 때 안내려가구요.
bake out 한방 가시던가...
이유없이 잠깐 쉬었다 다시 뽑으면 뽑힐 때도 있음... -
라인
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원래 일상적으로 쓰고 있었구요
말씀하신대로,
diffusion쪽 leak가 있거나 그런 것 같네요
oil도 교체 해야 겠어요...
감사합니다...
아 그런데 gas source라는 것을 어떤 것을 말하는 것인가요...? -
재료
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gas source: 고진공 하에서 가스가 나올만한 것들,
예를 들면 물기가 좀 있다거나 알콜같은 휘발성 물질,
샘플이 다공성인 경우 기공내의 가스 및 유체
그리고 아주 고진공인 경우 유기물질들 (손에서 옮겨온 기름 등등)도 휘발하지요 -
재료
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그리고 일상적으로 쓰셨다면 펌프쪽은 (그쪽은 손을 안대므로 보통) 괜찮을 겁니다.
아마도 챔버 문쪽 실링이 잘 안되었다던가 하는 경우가 대다수입니다.
챔버 문 사이에 들어가는 고무 실링 뽑아서 알콜로 한번 쭉 닦고 해보세요 -
라인
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감사합니다...