최소한 5 x10-6torr 이하로 떨어지는 것이 좋습니다만... 게이지 cal.이 틀어졌는지도 모릅니다. 사실 이런건 장비 처음 세팅한게 아니라면 전에 장비를 썼던 선배들에게 물어보는 것이 좋습니다. 선배들이 1.0x10-5torr까지만 뽑아 증착을 잘했다면 별 문제가 없겠지요. 아님 여기저기 물어보거나 고민할 것 없이, 직접 최대한 뽑고 증착을 시도해보세요. 그게 실험입니다.

  고맙습니다
한 가지 더 질문 드리고 싶은게...
1.0x10-5torr에서 이빔 증착을 할 떄
고진공에서 저진공으로 바뀌어 버리는데요...
(장비 업체 말로는 e-beam증착 시 발생하는 가스를 pump가 제대로 뽑아 주고 있지 못하고 있다고 하는데... )

여기서 pump라는게 rotaypump를 말하는건가요?
제 생각엔 어짜피 diffu pump에서 빼는 공기도
rotary펌프를 통해 밖으로 나가니까..
rotary pump 문제인 것 같은데요...

  켁. 후속질문이 히트네요... 설마 다른 펌프가 왜 두 개 달려 있는지 모르시는건...

  1. 선배들이 증착에 성공했더라도 증착 재료 혹은 실험 조건이 틀리다면 이 경우 펌프 용량의 문제일 수 있습니다. 증착시 가스가 발생하면 발생하는 속도와 비교해서 충분히 빠른 속도로 pumping 할 수 있어야 진공도가 떨어지지 않겠지요.

2. 로타리 펌프 확산 펌프 모두 펌프 inlet 과 outlet 사이에 압력 구배를 걸어주는 물건입니다. 당연히 둘중 하나만 용량이 작더라도 진공도에 문제가 생길 수 있으나, 증착 전 1.0x10-5torr 까지는 도달 가능하다는 점, 그리고 실험실에서의 소규모 증착에서 발생하는 가스의 양이 그리 많지 않을 거라는 점을 고려해 보면 확산펌프의 용량 혹은 문제일 가능성이 높아 보입니다.

3. 추가로 또 다른 가능성은 확산 펌프 오일이 어떤 연유로든지 한번 약간 역류해서 양이 부족하거나 (밸브 순서 실수하면 이렇게 잘 되지요) 오일의 오염이 극심하거나 해도 이렇게 됩니다. 설계 용량만큼 잘 pumping 하지 못하고 최종 도달 진공도 역시 떨어집니다 (최종 압력이 높아집니다). 이 경우가 의심된다면 실리콘 오일을 갈아보세요. 

  Bell Jar인가요? 뭐 무조건 세정하는 겁니다. 벽에 붙은 금속, 유기물 등등 아웃가스를 내는 것을 무조건 없애세요.

그다음에는 펌프의 메인터넌스입니다. 우선 오일 교환해보세요.
확산펌프는 누군가 분해해서 청소하는 것을 보긴 했는데 하여간 되는 것으로 알고 있습니다.

마지막으로 진공계의 교체.