HMDS 코팅 방법좀 알려주실분 계시나요.??
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YJY 작성일2014-03-25 16:00관련링크
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고려대학교 대학원 석박 통합과정 학생입니다.
PDMS위에 phoptolithography를 통해 pattern을 만들고 금증착을 하고싶은데요...
PDMS위에 AZ5214를 아무런 처리없이 코팅하려고 하니 잘 안되더라구요...따라서 이를 코팅하기 위에 HMDS를 코팅하고 싶습니다.
*HMDS spincoating 조건 및 baking 조건이 궁금하구요...(spincoating이 안된다면 vapor 코팅 방법이라도..)
부탁드립니다.
PDMS위에 phoptolithography를 통해 pattern을 만들고 금증착을 하고싶은데요...
PDMS위에 AZ5214를 아무런 처리없이 코팅하려고 하니 잘 안되더라구요...따라서 이를 코팅하기 위에 HMDS를 코팅하고 싶습니다.
*HMDS spincoating 조건 및 baking 조건이 궁금하구요...(spincoating이 안된다면 vapor 코팅 방법이라도..)
부탁드립니다.
댓글 1
박지훈님의 댓글
박지훈
Vapor 장비가 보통 반도체 라인에 있는데...학교라 없겠지요?
혹시 학교에 클린룸 있으면 알아보시길...
연구실에서 썼던 조건은 4000rpm 40s 스핀코팅 후 110oC, 1min hotplate 열처리 입니다. 참 쉽지요? ㅎ
