헤핑 도핑이란 보통 어느 정도 이상을 말합니까?
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박지훈 작성일2004-07-07 00:08관련링크
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안녕하세요 고수님들...
실리콘 기판을 (n,p타입 상관 없이) MIM(metal - insulator -metal) 구조의 가장 아랫판으로
사용할려고 하는데 헤비 도핑된 실리콘 기판을 사용해야 한다고 들었습니다.
보통은 어느 정도 이상이여야 그냥 metal같이 전기가 잘 통하는 헤비 도핑된 실리콘
이라고 볼 수 있습니까?
비도 오고 날씨도 찌뿌등한데 즐거운 싸이엔지~
실리콘 기판을 (n,p타입 상관 없이) MIM(metal - insulator -metal) 구조의 가장 아랫판으로
사용할려고 하는데 헤비 도핑된 실리콘 기판을 사용해야 한다고 들었습니다.
보통은 어느 정도 이상이여야 그냥 metal같이 전기가 잘 통하는 헤비 도핑된 실리콘
이라고 볼 수 있습니까?
비도 오고 날씨도 찌뿌등한데 즐거운 싸이엔지~
댓글 1
김덕양님의 댓글
김덕양
MIS(metal-insulator-semiconductor 또는 silicon) 구조라고 하시는게 더 정확한 용어라고 생각됩니다. dielectric constant 를 capacitance 법으로 재실려고 하시는 모양이네요.
그냥 single point 로 재실려면, resistivity (도핑량보다는 비저항값으로 많이 이야기들하죠. electrical property 재는 것이니) 가 0.05 옴-cm 보다 낮아야한다고들 합니다. CV curve 로 재실수 있는 장비가 있으시면 5-20 옴-cm (보통의 실리콘 웨이퍼죠) 정도면 됩니다.
기판에 따라서 특성이 많이 변하는 박막이 아니라면 Pt 같은 bottom electrode 깔아서 MIM 구조로 만들어 놓으시는 게 측정에 편하실 듯.
