다른 사람들 의견

• JH KIM (12-05-14 09:17)

    bonding 목적에 따라 여러가지 방법이 있을수 있죠.
  
  -간단하게는 접착제(페이스트)나 테이프를 이용해서 붙이는 방법.
  -wafer끼리 direct bonding 방법(이건 사파이어기판과 실리콘 기판이
  잘 될지 모르겠네요. 다른 기판끼리 한 것은 봤는데)
  -사파이어 기판에 VPE로 비정질 실리콘을 성장시키는 방법. 이방법은 필요한 실리콘 두께가 너무 두꺼워서 스트레스 문제나 cost면에서 현실적이지는 않네요.

  bonding 목적에 따라 여러가지 방법이 있을수 있죠. -간단하게는 접착제(페이스트)나 테이프를 이용해서 붙이는 방법. -wafer끼리 direct bonding 방법(이건 사파이어기판과 실리콘 기판이 잘 될지 모르겠네요. 다른 기판끼리 한 것은 봤는데) -사파이어 기판에 VPE로 비정질 실리콘을 성장시키는 방법. 이방법은 필요한 실리콘 두께가 너무 두꺼워서 스트레스 문제나 cost면에서 현실적이지는 않네요.
• 미노 (12-05-18 22:37)

    애초에 MOCVD로 성장을 시킬 때부터 저런 구조를 상정하고 만들어야할 것입니다. 파는 곳은 아마도 직접 각 층을 설계하고 주문제작하는 식으로 하셔야할 것 같네요.

  애초에 MOCVD로 성장을 시킬 때부터 저런 구조를 상정하고 만들어야할 것입니다. 파는 곳은 아마도 직접 각 층을 설계하고 주문제작하는 식으로 하셔야할 것 같네요.
• 임피던스 (12-05-21 12:16)

    JH KIM님, 미노님, 좋은 답변 감사드립니다!!!
  

  JH KIM님, 미노님, 좋은 답변 감사드립니다!!!
• 행운아 (12-06-12 12:48)

    상온접합으로 이미 실현되었습니다.
  SOS(Silicon on. Sapphire)로 구글링해보세요.
  <a href=http://www.oki.com/en/otr/2004/n200/pdf/otr-200-R18.pdf target=_blank>http://www.oki.com/en/otr/2004/n200/pdf/otr-200-R18.pdf</a>

  상온접합으로 이미 실현되었습니다. SOS(Silicon on. Sapphire)로 구글링해보세요. <a href=http://www.oki.com/en/otr/2004/n200/pdf/otr-200-R18.pdf target=_blank>http://www.oki.com/en/otr/2004/n200/pdf/otr-200-R18.pdf</a>