챔버청소에관하여...
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- 등록일
- 2013-04-09 00:34
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올해
대학원에 갓 입학하여
e-beam evaporator 장비로
si 웨이퍼 위에 증착 하는
실험을 하고 있는데요
증착 시
웨이퍼 뿐만 아니라
챔버 내부까지 증착이 되서
다음 실험 진공을 잡는데
원활하지 않더라구요
그래서 청소를 하려고 하는데
알코올로 해도 아무리 안닦이는데...
추천 해 주실만한... 용액 있을까요?
한 달 전에 질산에다가 어떤 것을 섞은 용액으로 닦았을 땐
잘닦였는데....이제 다 써버렸네요 (제가 만든 것은 아니고 원래 있던 용액)
그전에 있던 실험실 사람들도 아무도
그 용액 제조법을 모른다고하고...
지금 현재 저희 실험실에는 저 혼자라서
물어 볼 곳이 없어서 이렇게 글을 쓰네요
챔버 청소를 위한 용액을 추천 해주세요
참고로...
모래바람(샌딩)같은 청소는 자금 문제로 불가능하네요...
...
혹시
알루미늄이나 크롬층을 벗겨 낼 수 있는 용액이나
벗겨낼 수 있는 질산 희석 비율 알려 주시면 감사하겠습니다
다른 사람들 의견
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Athena
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아마 그 용액은 금을 녹여내는데 사용하는 "왕수"였을 겁니다.
염산과 질산는 3대 1로 섞은 겁니다. -
JH KIM
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챔버벽에 코팅된 물질보다는 seal이 되는 오링 등에 물질이 뭍어있지 않은지 보세요. 증착물질에 따라 다를 수는 있지만 보통 챔버벽에 코팅된 물질 때문에 진공 잡는데 문제가 생기지는 않는 것 같습니다. 왠만하면 몸에도 안좋은 강산 계통은 사용하지 마세요.
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Athena
()
-11승 Torr 챔버에서 금속계통 증착시켜도 진공도 회복 금방합니다. 윗분 말씀대로 다른 요인이있을 듯합니다.
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슈퍼가드
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저도 왕수일 가능성이 높다고 봅니다.
일단 왕수에 대해서 조사해서 만들어 보시고 위에 분 말씀대로 위험할 수 있으니 안전장비 확실하게 챙기셔서 닦아내세요 안전수칙만 잘지키면 그리 위험하진 않습니다.
다만 그 후에도 진공도 회복 안되면 다른 요인을 찾으시는게 좋을듯 합니다.
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ENGR
()
진공챔버의 감압 시 설정 압력까지 감압이 안 되는(감압이 되 더라도 시간 지연이 생기는) 경우는 윗 분께서 말씀하신 경우처럼 sealing part(o-ring)과 배관 등 의 미세 파손이 있는경우 발생 할 수 있고, 진공펌프의 오일 교체주기가 지나 펌프 자체 성능저하로 인해 진공감압이 안 되는 것 일수도 있습니다. 먼저 펌프오일의 색 확인 해 보시고 이상이 있다면 교체, o ring등의 스페어파트가 있다면 의심되는 부분의 파트를 교체하여 테스트 해 보시길 바랍니다.
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라인
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고맙습니다
정말고맙습니다