고분자 위에 증착된 Al, Au 에칭하는 것에 관해
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박지훈 작성일2013-11-01 13:02관련링크
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에칭용액 쪽에 관해 고수님들께 도움을 구합니다.
PVDF라는 나름 오래된(?), 잘 알려진 고분자 위에 알루미늄 또는 Au 전극을 증착했습니다.
한데 메탈층과 접촉된 부분에 대해서 미세구조를 관찰하고자,
메탈층을 식각해서 지워야 하는 상황입니다.
1. 건식 식각으로는 Al, Au를 깍아내는 게 어떤가요? 하부에 PVDF 고분자에 영향을 주지 않을까요?
2. 그래서 저는 일단 습식 에칭 용액을 생각 중인데요.
하부 PVDF 에 영향을 주지 않고 (녹이지 않고 ^^) 상부 메탈인 Al, Au등을 녹여낼 수 있는
적절한 에칭 용액이 어떤게 있을지....
반도체 공정 쪽에 고수님들께 도움을 요청드립니다. ^^
오늘도 좋은 하루 되시길
PVDF라는 나름 오래된(?), 잘 알려진 고분자 위에 알루미늄 또는 Au 전극을 증착했습니다.
한데 메탈층과 접촉된 부분에 대해서 미세구조를 관찰하고자,
메탈층을 식각해서 지워야 하는 상황입니다.
1. 건식 식각으로는 Al, Au를 깍아내는 게 어떤가요? 하부에 PVDF 고분자에 영향을 주지 않을까요?
2. 그래서 저는 일단 습식 에칭 용액을 생각 중인데요.
하부 PVDF 에 영향을 주지 않고 (녹이지 않고 ^^) 상부 메탈인 Al, Au등을 녹여낼 수 있는
적절한 에칭 용액이 어떤게 있을지....
반도체 공정 쪽에 고수님들께 도움을 요청드립니다. ^^
오늘도 좋은 하루 되시길
댓글 3
avaritia님의 댓글
avaritia
반도체공정 전공은 아닙니다만
건식 식각은 접촉부 미세구조를 본다는 목적상 맞지 않고
화학적 식각의 경우, 산은 고분자를 녹이지 못합니다. 왕수를 쓰면 금방 녹여낼 수 있을 듯. 고분자가 다 산에 강하지만 특히 fluoride계는 산에 강해요.
天上緣님의 댓글
天上緣
피라나로 가능하지 않나요?
행운아님의 댓글
행운아
마스크를 적당히 선택한 뒤 FIB로 계면단면을 만든뒤 적당한 현미경으로 보세요.
그리고 습식에 관해서는 에칭용액 테이블이 있습니다.
