MOS transistor의 제작에 있어서 LDD 공정이 도입된 시기가 ...???
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하만륜 작성일2005-03-09 19:07관련링크
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MOS transistor의 제작에 있어서 LDD 공정이 도입된 시기가 대충 언제쯤인지 궁금합니다.
80년대초반?\\
80년대 후반?
90년대 초반??
90년대 중반???
80년대초반?\\
80년대 후반?
90년대 초반??
90년대 중반???
댓글 1
돌아온백수님의 댓글
돌아온백수
80년대 후반일거라고 짐작됩니다. 90년대 초에 나온 택스트 북에 소개가 된것을 본적이 있습니다. 제목이 advanced 뭐 였으니까, 아마 80년대 후반에 도입된 것을 그렇게 부르지 않았나 짐작합니다.
LDD 라는 것이 Hot carrier effect 를 줄일려고 하는 것이니까, hot carrier 효과가 발견된 연대를 찾아보시면 비슷하게 맞아 들어갈꺼에요.
