mems 관성센서의 원리나 재료에 대해 알고싶은데요.
 
 인터넷 조사를 통해 자료를 많이 모아두긴 했는데

 일반 가속도 센서, 자이로센서에 대한 것들은 많이 보고 이해도 되는데

 이것들이 다 mems 기술로도 구현되는건지 구분이 잘 안되있어서 잘 모르겠어서요

 mems 관성센서의 원리와 재료 같은 것들을 자세하게 나와있는 사이트는 없나요?..